CSSM 气体滤芯外壳是由电子级不锈钢制
成,是专为半导体工艺中高温高压状态下的
气体过滤而设计的。该系列具有耐高温高压、
低析出、低初始压降的优点。
压缩空气、工艺特气、有毒气体、干燥气体
除水
选型表